一、核心性能與技術(shù)特點

1. 10??Pa 級超高真空防污染設(shè)計設(shè)備采用渦輪泵直上的 10??Pa 級超高真空管路系統(tǒng)，搭配最高 250℃的管路、閥門烘烤除氣功能，可清除管路內(nèi)殘留雜質(zhì)與吸附氣體，確保微量樣品不受污染，保障分析結(jié)果的準(zhǔn)確性。
2. 多通道高精度樣品分配支持將微量樣品氣體分配至 5 個獨(dú)立分析系統(tǒng)，容積控制精度達(dá) ±5%，可同時完成多組平行分析或不同維度的氣體檢測，大幅提升稀有樣品的實驗效率與數(shù)據(jù)可靠性。
3. PLC 智能電機(jī)閥門控制所有閥門采用電機(jī)驅(qū)動，通過 PLC 實現(xiàn)全流程自動化控制，可精準(zhǔn)調(diào)節(jié)閥門扭矩、開關(guān)速度與開關(guān)順序，避免機(jī)械操作對微量樣品的干擾，適配珍貴樣品的精細(xì)化處理需求。
4. 高靈敏度氣體分析配置搭載 2 臺高精度四極桿質(zhì)量分析計，可對極低濃度的氣體成分進(jìn)行定性與定量分析，滿足深空探測、行星科學(xué)、地質(zhì)痕量氣體檢測等領(lǐng)域的科研級檢測需求。

二、規(guī)格參數(shù)表

三、超高真空氣體采集與分析檢測裝置 典型應(yīng)用場景

• 深空探測樣品分析：小行星、彗星、月球探測器帶回樣品的揮發(fā)性物質(zhì)氣體分析；

• 稀有微量氣體檢測：地質(zhì)樣品、環(huán)境樣品中的痕量氣體成分定性與定量分析；

• 超高真空實驗：需要無雜質(zhì)污染環(huán)境的氣體實驗與材料表面分析；

• 精密科學(xué)研究：高校、科研機(jī)構(gòu)的行星科學(xué)、化學(xué)分析實驗室。